-
1 ion implantation
Ионная имплантацияСпособ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до 1,0 мкм, формируя в ней особое структурно-фазовое состояние. Толщина слоя зависит от энергии и от массы ионов, а также от массы атомов мишени. Широко используется для формирования легированных областей на поверхности полупроводника при создании полупроводниковых приборов. Является стандартным технологическим приемом, используемым в планарной технологии.Russian-English dictionary of Nanotechnology > ion implantation
-
2 ion implantation
имплантация [внедрение] ионов ( в твёрдые тела при ионной бомбардировке)Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > ion implantation
-
3 ion implantation management system
Engineering: IIMSУниверсальный русско-английский словарь > ion implantation management system
-
4 ion implantation damage annealing
отжиг радиационных дефектов (отжиг дефектов, обусловленных ионной имплантацией)Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > ion implantation damage annealing
-
5 Plasma Source Ion Implantation
Electronics: PSIIУниверсальный русско-английский словарь > Plasma Source Ion Implantation
-
6 Plasma immersion ion implantation
Electronics: PIIIУниверсальный русско-английский словарь > Plasma immersion ion implantation
-
7 molecular-ion implantation
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > molecular-ion implantation
-
8 focused ion-beam implantation
Англо-русский словарь промышленной и научной лексики > focused ion-beam implantation
-
9 внедрение ионов
-
10 внедрение ионов
-
11 послеимплантационный
Русско-английский словарь по машиностроению > послеимплантационный
-
12 ионное легирование
Русско-английский словарь по микроэлектронике > ионное легирование
-
13 внедрение ионов
Русско-английский научно-технический словарь Масловского > внедрение ионов
-
14 ионная имплантация
Русско-английский словарь по машиностроению > ионная имплантация
-
15 ионное легирование
-
16 ионная имплантация
ion implantation, ion beam implantation -
17 метод ионной имплантации
ion-implantation method микр., ion-implantation techniqueРусско-английский словарь по электронике > метод ионной имплантации
-
18 метод ионной имплантации
ion-implantation method микр., ion-implantation techniqueРусско-английский словарь по радиоэлектронике > метод ионной имплантации
-
19 имплантация
[lang name="Russian"]ионная имплантация в нагретый п/п — hot implantation
-
20 имплантация
ионная имплантация в нагретый п/п — hot implantation
Русско-английский новый политехнический словарь > имплантация
См. также в других словарях:
Ion implantation — is a materials engineering process by which ions of a material can be implanted into another solid, thereby changing the physical properties of the solid. Ion implantation is used in semiconductor device fabrication and in metal finishing, as… … Wikipedia
Ion implantation — Ion implantation. См. Ионная имплантация. (Источник: «Металлы и сплавы. Справочник.» Под редакцией Ю.П. Солнцева; НПО Профессионал , НПО Мир и семья ; Санкт Петербург, 2003 г.) … Словарь металлургических терминов
ion implantation — Ion Implantation Ионная имплантация Способ введения посторонних атомов внутрь твердого тела путем бомбардировки его поверхности пучком ионов c высокой энергией (до 1 МэВ). Имплантируемые ионы внедряются в материал мишени на глубину от 0,01 до … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
ion implantation — Electronics. a method of implanting impurities below the surface of a solid, usually a semiconductor, by bombarding the solid with a beam of ions of the impurity. [1960 65] * * * ion implantation noun The introduction of ions into a crystalline… … Useful english dictionary
ion implantation — jonų implantavimas statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. ion implantation vok. Ionenimplantation, f rus. имплантация ионов, f pranc. implantation d’ions, f; implantation ionique, f … Fizikos terminų žodynas
ion-implantation gettering — jonų implantacijos sukurtų defektų sutrauktis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implant gettering; ion implantation gettering vok. Gettern durch Ionenimplantation, n; Ionenimplantationsgettern, n rus. геттерирование… … Radioelektronikos terminų žodynas
ion-implantation annealing — poimplantacinis atkaitinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation annealing; postimplantation annealing vok. Ausheilung nach der Ionenimplantation, f; Ionenimplantationsausheilung, f rus. послеимплантационный… … Radioelektronikos terminų žodynas
ion-implantation profile — implantuotųjų jonų profilis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation profile vok. Implantationsprofil, n rus. профиль распределения имплантированных ионов, m pranc. profil d implantation ionique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
ion-implantation dosage — implantuojamų jonų dozė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation dosage vok. implantierte Dotantenmenge, f; Ionenimplantationsdosis, f rus. доза имплантируемых ионов, f pranc. dose d implantation ionique, f … Radioelektronikos terminų žodynas
ion-implantation mask — jonų implantavimo kaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation mask vok. Ionenimplantationsmaske, f rus. маска для ионной имплантации, f pranc. masque d implantation ionique, m … Radioelektronikos terminų žodynas
ion implantation damaged area — jonų implantavimo pažeista sritis statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ion implantation damaged area vok. durch Ionenimplantation gestörter Bereich, m rus. область, нарушенная ионной имплантацией, f pranc. région défaillie par… … Radioelektronikos terminų žodynas